光刻机作为先进封装必要设备之一,芯片算力升级正带来其需求爆发。据外媒周四报道称,芯片制造大厂三星计划进口更多ASML的EUV光刻设备,未来ASML将在五年内提供总共50套设备,总价值可达10万亿韩元(当前约551亿元人民币)。与此同时,国内芯片企业亦加速抢购,9月我国从荷兰进口光刻机同比增长1036%,且第三季度中国大陆的销售额占ASML整体销售额的比重已达46%。

  国金证券4月18日研报指出,当前全球光刻机市场被荷兰ASML、日本佳能、尼康三大巨头垄断,其中ASML销售金额市占率约占八成,并在EUV光刻机市场为绝对垄断。据科创板日报11月6日报道,ASML中国区总裁沈波表示,到2023年底ASML在中国的光刻机总数将接近1400台。即使考虑到地缘政治的影响,明年中国市场的整体需求依然处于非常旺盛的状态。

  ▌全球光刻机巨头ASML的A股小伙伴受资本热捧 与上海微电子存在股权关联的A股上市公司共有四家

  ASML光刻机中国大陆销量大幅攀升,同时叠加本周英伟达发布H200芯片等相关利好消息催化,A股光刻机板块跑出多只牛股。其中,生产光刻胶配套试剂的西陇科学周五收盘8天7板,产品曾间接供应ASML的福晶科技周二收盘7天4板,提供光刻机曝光系统中核心激光光学元器件的炬光科技周二盘中一度涨超13%。拉长时间看,西陇科学11月2日迄今股价累计最大涨幅接近翻倍,炬光科技和福晶科技本月股价累计最大涨幅分别约六成和四成。

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  值得一提的是,炬光科技和福晶科技均披露过与巨头ASML存在供应关系。具体来看,中航证券刘牧野等人在9月8日研报中指出,炬光科技供应光刻机产业链中的光场匀化器,供货给世界顶级光学公司并最终应用于ASML核心设备,同时也应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。公司6月在互动平台也表示,招股书中披露客户代码为A的客户为ASML光学设备核心供应商。随后9月进一步回复称,公司根据客户需求匹配不同波长的光场匀化器,目前产品已经用于KrF、ArF、ArF浸没式等DUV光刻机。

  另一家与ASML有关系的福晶科技是全球领先的LBO、BBO非线性光学晶体生产商。刘牧野等人认为其(有望提供)光刻机产业链中的精密光学元件、晶体,并且公司曾间接供应ASML。对此福晶科技此前在互动平台也透露称,前期曾通过欧洲代理向ASML供应少量光学元件,目前未有新的业务。不过巧合的是,在ASML上周一宣布今年光刻机在中国大陆的销量消息公布后,福晶科技于当日封住涨停,并在随后两个交易日同样涨停顺势拿下三连板。

  中航证券研报表示,光刻机制造难度很高,上游零部件市场空间大,一台光刻机由数万个零部件组成,2022年ASML供应商共5000家,合计供应链支出124亿欧元。随产业化渐近零部件投资先行,测算国内零部件市场空间约150亿元。

  根据招商证券11月9日研报,国内光刻机产业链中,系统厂商包括科益虹源、国望光学、国科精密、华卓精科、启尔机电(均未上市)等;上市关键零部件厂商包括福晶科技、腾景科技、炬光科技、茂莱光学、福光股份、波长光电、晶方科技、赛微电子、苏大维格、奥普光电等;光刻机配套检测服务等厂商如东方晶源(未上市)等。

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  另外,据不完全统计,华亚智能、晶方科技、英诺激光、华特气体等上市公司近期在互动平台回复与ASML相关的业务情况。具体看,华亚智能是ASML的间接供应商,向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。英诺激光曾向ASML提供过激光器。华特气体自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种混合气是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司认证的气体公司。晶方科技称荷兰光刻机制造商ASML为子公司Anteryon最主要客户之一。

  在光刻整机制造方面,当前国产光刻机的主要企业为上海微电子,是我国光刻机制造领头羊。公开资料显示,其背后张江高科、上海电气、海立股份、东方明珠通过间接持股或母公司持股与其有一定关联。公开资料显示,张江高科4月在互动平台透露,其通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子10.779%的股权。上海电气控股股东上海电气控股集团有限公司持有上海微电子约27%股权,而海立股份控股股东同样为上海电气控股集团有限公司。东方明珠持股的上海市信息投资股份有限公司通过上海泰力产业投资管理有限公司间接持有上海微电子股权。

  刘牧野等人根据巨头ASML的发展路径分析并认为,其通过收购/入股成功打造其生态圈对我国光刻机产业具有一定启发。据悉,主营冷暖关联解决方案的海立股份在互动平台透露称,公司为上海微电子装备集团的相关设备提供冷却系统配套,已实现供货。二级市场表现看,海立股份10月27日迄今股价累计最大涨幅约50%。此外,张江高科9月迄今股价累计最大涨幅已翻倍,上海电气则在9月11日股价创近两年新高。

  ▌高光只有一刻?多只光刻机翻倍牛股股价高位回调超四成 高调蹭热点背后离梦的距离仍较远

  回溯来看,一众光刻机概念股9月曾开启一波暴涨,但随后展开的高位回调亦十分惨烈。

  具体来看,提供光刻机配套的大孔径光学镜头的波长光电9月6日股价创历史新高,8月23日上市以来累计最大涨幅为228%,但9月高点迄今累计最大跌幅超40%;联合精密在9月8日至9月15日期间拿下6连板,但股价高位迄今累计最大跌幅接近四成。

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  根据联合精密异动公告显示,公司“广东扬山联合精密制造股份有限公司年产3万吨空调压缩机零部件、汽车零部件、机器人零部件、光刻机零部件铸件项目”中光刻机零部件铸件项目没有相关技术储备,亦不存在光刻机零部件铸件相关业务订单。

  值得一提的是,蓝英装备和苏大维格股价亦表现强势,8月下旬至9月15日期间累计涨幅接近翻倍,而这背后似乎都与在互动平台高调蹭热点有关。蓝英装备称“公司精密清洗业务的芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司”。苏大维格则更是宣称光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售,公司股价在回复当日随即拉升拿下20cm涨停。

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  但高调宣传亦引发监管的关注,蓝英装备9月12日收交易所关注函,并在回复中坦言并不直接参与其相关设备的生产制造。苏大维格的“此光刻非彼光刻”更是让公司吃了百万罚单。当前来看,苏大维格9月股价高光已经几乎完全消散,迄今累计最大跌幅超40%。